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半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測溫系統(tǒng)

更新時(shí)間:2024-05-26

簡要描述:

半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測溫系統(tǒng)Vac.TEMP TS
1、精密測溫NTC傳感器;
2、真空貫通法蘭;
3、精密多通道測溫儀;
4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

型號:Vac.TEMP TS點(diǎn)擊量:971

  免費(fèi)咨詢:86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測溫系統(tǒng)Vac.TEMP TS

1、精密測溫NTC傳感器;

2、真空貫通法蘭;

3、精密多通道測溫儀;

4、溫度采集分析軟件DAQ TEMP。

半導(dǎo)體設(shè)備真空腔高精度測溫系統(tǒng)精密NTC測溫傳感器技術(shù)規(guī)范


名稱

指標(biāo)

標(biāo)稱電阻

10000Ω@25℃

絕對精度

≤10、5、1mK

重復(fù)精度

≤1mK@30min、1Hz

年漂移量

<10、5、1mK

線制

4線

探頭封裝

316L圓柱封裝或定,內(nèi)部填充不留氣,不漏氣

引線材質(zhì)

PTFE(真空)

響應(yīng)時(shí)間

≤1s

探頭尺寸

≤φ2.0*10mm

連接器 

DB

真空饋通

法蘭

引線端子

智能航插

校準(zhǔn)

提供校準(zhǔn)報(bào)告


溫度采集儀618A/NTC技術(shù)規(guī)范


名稱

指標(biāo)

溫度校準(zhǔn)范圍

16-70℃

測量模塊絕對精度

≤10、5、1mK@1Hz/通道

測量模塊年漂移

≤10、5、1mK

測量通道數(shù)量

4、8、16、32、120個(gè)可選

采樣頻率

可調(diào),最大≥10Hz/通道

激勵(lì)電流

≤10uA

運(yùn)行/故障指示燈

單通道獨(dú)立控制

輸入

4線制NTC

通訊接口

LAN/RS485/USB

通訊協(xié)議

Modbus RTU

數(shù)據(jù)格式

機(jī)器時(shí)間-對應(yīng)通道的溫度值

設(shè)備記錄時(shí)間功能

有內(nèi)部時(shí)鐘,采集頻率<1Hz時(shí),時(shí)間差≤0.1s

測溫探頭接口

航空插頭

軟件

配套DAQ數(shù)據(jù)采集軟件

供電電源

AC220V適配器


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