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晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)

更新時(shí)間：2024-07-30

簡(jiǎn)要描述：

RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)
儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，在這些設(shè)備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。

型號(hào)：RTD Wafer點(diǎn)擊量：858

  免費(fèi)咨詢：86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們：501630350@qq.com

RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)

儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，在這些設(shè)備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。

RTD Wafer 晶圓有線測(cè)溫系統(tǒng)

測(cè)溫范圍：-40℃至250℃

電阻器：薄膜鉑

電阻：0°C時(shí)標(biāo)稱電阻值為1000 Q

精度：±0.1℃

測(cè)溫點(diǎn)數(shù)：1~68個(gè)

傳感器引線：可定制

可提供絕緣：聚酰亞胺涂覆的銅引線

測(cè)溫探頭接口：DB37

晶圓材質(zhì)：硅片，藍(lán)寶石，碳化硅等（基材形狀和尺寸可定制）

晶圓尺寸：50mm，100mm，150mm，200mm，300mm

真空貫通帶：聚酰亞胺扁平電纜，大氣壓可達(dá)10-7Torr（長(zhǎng)度由客戶定）


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